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发明名称 METHOD TO PRODUCE TRANSISTOR HAVING REDUCED GATE HEIGHT
摘要
申请公布号 EP1665334(A4) 申请公布日期 2011.02.23
申请号 EP20040756338 申请日期 2004.06.29
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 PARK, HEEMYOUNG;AGNELLO, PAUL, D.;GILBERT, PERCY, V.;LEE, BYOUNG, H.;O'NEIL, PATRICIA, A.;SHAHIDI, GHAVAM, G.;WELSER, JEFFREY, J.
分类号 H01L21/8234;H01L21/336;H01L21/425;H01L21/4763;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/423;H01L29/45;H01L29/49;H01L29/786 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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