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发明名称 SPECTRAL PURITY FILTERS FOR USE IN A LITHOGRAPHIC APPARATUS.
摘要
申请公布号 NL2005111(A) 申请公布日期 2011.02.22
申请号 NL20102005111 申请日期 2010.07.19
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., 发明人 JAK, MARTIN;BANINE, VADIM;HERPEN, MAARTEN;SOER, WOUTER;YAKUNIN, ANDREI
分类号 G03F7/20;G21K1/06 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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