发明名称 沈膜机台
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.02.21
申请号 TW095137857 申请日期 2006.10.14
申请人 奇美电子股份有限公司 发明人 陈有进
分类号 C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人 李宏泽 台北市中正区罗斯福路2段100号8楼
主权项 一种沈膜机台,包括:一台座本体;一承载器,配置于该台座本体上,该承载器具有一固定部与由固定部向外延伸之一支撑部,且该支撑部之一端为一弯折之弯曲部。如申请专利范围第1项所述之沈膜机台,其中该弯曲部之弯折角度介于90~179度之间。如申请专利范围第1项所述之沈膜机台,其中该弯曲部之弯折角度介于169~173度之间。如申请专利范围第1项所述之沈膜机台,更包括至少一夹持件,与该承载器相对配置。如申请专利范围第4项所述之沈膜机台,其中该夹持件为弹片。如申请专利范围第4项所述之沈膜机台,其中该弯曲部向远离夹持部的方向弯折。一种沈膜机台,包括:一台座本体;一承载器,配置于该台座本体上,该承载器具有一固定部与由固定部向外延伸之一支撑部;以及一夹持件,与该承载器相对配置,其中该支撑部具一向远离该夹持件的方向弯折之弯曲部。如申请专利范围第7项所述之沈膜机台,其中该弯曲部之弯折角度介于90~179度之间。如申请专利范围第7项所述之沈膜机台,其中该弯曲部之弯折角度介于169~173度之间。如申请专利范围第7项所述之沈膜机台,其中该夹持件为一弹片。
地址 苗栗县竹南镇新竹科学工业园区科学路160号