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发明名称 METHOD FOR CRITICAL DIMENSION SHRINK USING CONFORMAL PECVD FILMS
摘要
申请公布号 KR20110016916(A) 申请公布日期 2011.02.18
申请号 KR20107027525 申请日期 2009.05.04
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 XIA LI QUN;BALSEANU MIHAELA;SHEK MEIYEE;LI SIYI;CUI ZHENJIANG;NAIK MEHUL B.;ARMACOST MICHAEL D.;MC CLINTOCK WILLIAM H.
分类号 H01L21/306;H01L21/205 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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