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发明名称 SUBSTRATE SUPPORT UNIT AND APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR101015229(B1) 申请公布日期 2011.02.18
申请号 KR20080107531 申请日期 2008.10.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/683;H01L21/027 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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