| 摘要 |
<p>Ein Relativdrucksensor umfasst einen Druckmesswandler 11 mit einer Messmembran eines Halbleiterchips 12 und einem Substratkörper 13, wobei zwischen beiden eine Referenzdruckkammer ausgebildet ist, einen Trägerkörper 14, wobei der Substratkörper mittels einer drucktragenden Klebung 9 mit dem Trägerkörper verbunden ist, wobei sich durch beide ein Referenzdruckpfad bis in die Referenzdruckkammer erstreckt, einen Messwerkkörper 20, in dem eine Wandlerkammer 21 mit einer ersten Öffnung und einer zweiten Öffnung 23 ausgebildet ist, wobei der Druckmesswandler 11 durch die erste Öffnung in die Wandlerkammer eingebracht ist und mittels des Trägerkörpers darin gehalten wird, wobei der Trägerkörper 14 die erste Öffnung druckdicht verschließt, und wobei eine der Referenzdruckkammer abgewandte Seite der Messmembran durch die zweite Öffnung mit dem Mediendruck beaufschlagbar ist, wobei der Referenzdruckpfad einen gasgefüllten, geschlossenen Abschnitt aufweist, der sich von der Referenzdruckkammer zumindest bis durch die drucktragende Klebung 9 erstreckt, wobei der geschlossene Abschnitt mittels einer flexiblen, metallisierten Kunststofffolie 19 gasdicht verschlossen ist.</p> |
