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发明名称
PROCEDIMENTO PER L ATTACCO CHIMICO LOCALIZZATO DI CRISTALLI DI SILICIO
摘要
申请公布号
IT1025994(B)
申请公布日期
1978.08.30
申请号
IT19740029813
申请日期
1974.11.26
申请人
SIEMENS AG
发明人
分类号
C23F1/10;C04B41/53;H01L21/033;H01L21/306;H01L21/308;H01L29/00;(IPC1-7):H01L/
主分类号
C23F1/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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