发明名称 PROCEDIMENTO PER L ATTACCO CHIMICO LOCALIZZATO DI CRISTALLI DI SILICIO
摘要
申请公布号 IT1025994(B) 申请公布日期 1978.08.30
申请号 IT19740029813 申请日期 1974.11.26
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 C23F1/10;C04B41/53;H01L21/033;H01L21/306;H01L21/308;H01L29/00;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 C23F1/10
代理机构 代理人
主权项
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