Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche an einem Gegenstand,申请号DE200910017465-传众专利搜索

发明名称	Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche an einem Gegenstand
摘要
申请公布号	DE102009017465(B4)	申请公布日期	2011.02.17
申请号	DE200910017465	申请日期	2009.04.03
申请人	CARL ZEISS OIM GMBH	发明人	KNUPFER, KLAUS
分类号	G01N21/88;G01B11/24;G01B11/25;G01N21/956	主分类号	G01N21/88
代理机构		代理人
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