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发明名称 Verarbeitungsverfahren für Objekte mit einem Oberflächenteil aus einem Isolator
摘要
申请公布号 DE602005025722(D1) 申请公布日期 2011.02.17
申请号 DE200560025722T 申请日期 2005.11.30
申请人 SANYO ELECTRIC CO. LTD.;KANTO SANYO SEMICONDUCTORS CO. LTD. 发明人 KAMEYAMA, KOJIRO;SUZUKI, AKIRA;OKAYAMA, YOSHIO;UMEMOTO, MITSUO
分类号 H01L21/683 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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