| 发明名称 |
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| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2011505066(A) |
申请公布日期 |
2011.02.17 |
| 申请号 |
JP20100534938 |
申请日期 |
2008.11.10 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/027;G03F1/08 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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