发明名称 MANUFACTURE OF PLANARRTYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5492187(A) 申请公布日期 1979.07.21
申请号 JP19770160068 申请日期 1977.12.29
申请人 OMRON TATEISI ELECTRONICS CO 发明人 TAGUCHI ISAO;SHIMOYAMA KENJI
分类号 H01L29/73;H01L21/329;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/74 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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