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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS.
摘要
申请公布号 NL2006106(A) 申请公布日期 2011.02.17
申请号 NL20112006106 申请日期 2011.01.31
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 LOOPSTRA, ERIK;BANINE, VADIM;IVANOV, VLADIMIR;MOORS, JOHANNES;SWINKELS, GERARDUS;KEMPEN, ANTONIUS;YAKUNIN, ANDREI
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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