形状测定装置和形状测定方法

摘要

本发明公开了一种形状测定装置和一种形状测定方法。其中，一种移动矢量计算单元，在通过针头32扫描测量表面5a期间，在针头位移矢量、针头位移矢量D和由针头32与测量表面5a之间的摩擦力造成的针头位移矢量D的变向角度θ的基础上计算表示探针移动的大小和方向的移动矢量M。针头位移矢量D是一个包括针头32相对于探针5的位移的大小和方向的矢量。控制XY-工作台7的移动以使探针6按照移动矢量M移动。

主权项

一种形状测定装置，包括：用于支撑针头以使针头能够通过来自测量表面的测量作用力被移动的探针；用于移动在探针和测量表面之间的相对位置以使针头扫描测量表面的移动单元；用于检测表示针头相对于探针的位移的大小和方向的针头位移矢量的针头位移矢量检测单元；用于在通过针头扫描测量表面期间利用第一矢量计算表示探针移动的大小和方向的移动矢量的移动矢量计算单元，该第一矢量通过将针头位移矢量转过由针头与测量表面之间的摩擦力造成的针头位移矢量的变向角度与90度之和后得到的矢量与V/C之积获得，其中C为针头移动的距离，V为速度；和用于控制移动单元以使探针按照移动矢量移动的移动控制单元。