一种无害化处理硫酰氟气体的方法

摘要

本发明属于气体污染物处理技术领域，主要是一种无害化处理硫酰氟气体的方法，步骤如下：采用等离子体反应器作为反应器，在两电极之间由二端的气体分布挡板和中间的多孔挡板分隔成二个填充物腔体；含有硫酰氟的气体从进气口进入等离子体反应器，在非平衡等离子体的作用下，含有硫酰氟的气体与放电产生的高能电子及活性粒子发生氧化、降解反应，并与等离子体反应器内的二级填充物反应吸附，生成无毒无害及无温室效应的气体后从出气口排出。本发明有益的效果是：采用放电等离子体和填充物同时同场的方式，使硫酰氟在非平衡等离子体作用下被氧化分解，同时与装在反应器中的填充物反应吸收，从而促进反应向无害化方向进行，提高脱除效率，进而提高能源利用效率。

主权项

一种无害化处理硫酰氟气体的方法，其特征在于：步骤如下：采用等离子体反应器(2)作为反应器，在两电极之间由二端的气体分布挡板(12)和中间的多孔挡板(6)分隔成二个填充物腔体，靠近进气口(3)的填充物腔体内填充有填充物A(11)，靠近出气口(9)的填充物腔体内填充有填充物B(10)；调节高压电源(1)的电压，维持等离子体反应器(2)内放电能量密度在200J/L到1500J/L之间，含有硫酰氟的气体从进气口(3)进入等离子体反应器(2)，在非平衡等离子体的作用下，含有硫酰氟的气体与放电产生的高能电子及活性粒子发生氧化、降解反应，并与等离子体反应器(2)内的二级填充物反应吸附，生成无毒无害及无温室效应的气体后从出气口(9)排出，反应停留时间在1s到25s之间。