具有电容敏感特性的静电卡盘装置，以及相关的操作方法

摘要

本发明提供了一种用于处理工件，例如半导体晶片，的半导体工件加工系统。同时还提供了相关的操作控制方法。所述系统包括一个配置成接收工件的静电卡盘，以及与所述静电卡盘连接的夹持电压源。所述静电卡盘具有夹持电极装置，所述夹持电压源与所述夹持电极装置连接。所述夹持电压源包括配置成为所述夹持电极装置产生直流(DC)夹持电压的直流(DC)电压产生装置，为所述夹持电极装置产生交流(AC)激励信号的交流(AC)电压产生装置，以及与所述夹持电极装置连接的处理结构。所述处理结构配置成分析响应于所述AC激励信号而获得的工件存在信号的特征，以及基于该特征，检验工件相对于所述静电卡盘的合适的/不合适的放置。

主权项

一种静电卡盘装置，包括：台板，其被配置为接收工件；所述台板的电极装置，所述电极装置被配置为接收直流夹持电压，即DC夹持电压，以将所述工件静电吸附在所述台板上；以及与所述电极装置连接的电容传感器子系统，所述电容传感器子系统被配置为产生用于所述电极装置的交流激励信号，即AC激励信号，并且分析所述激励信号的电特性，所述电特性被所述工件和所述台板之间的电容变化影响。