| 发明名称 |
COMPUTER-IMPLEMENTED METHODS, CARRIER MEDIA, AND SYSTEMS FOR SELECTING POLARIZATION SETTINGS FOR AN INSPECTION SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20110015631(A) |
申请公布日期 |
2011.02.16 |
| 申请号 |
KR20107028087 |
申请日期 |
2009.05.13 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
WALLINGFORD RICHARD;CHEN STEPHANIE;KIRKWOOD JASON;LUO TAO;ZHANG YONG;GAO LISHENG |
| 分类号 |
G01N21/88;G01B11/30;G01N21/47;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
