一种硅基有机发光微显示器件隔离柱的制备方法

摘要

本发明涉及硅基有机发光微显示(OLED)金属阳极及阴极隔离柱的制备方法，其特征在于：所述的该隔离柱的制备步骤如下：1)在硅基片衬底上用磁控溅射一层金属膜；2)在镀有铬/银的硅基片上涂光学光刻胶，用第一版光刻板进行曝光、显影；3)对刻有图形的硅基片进行ICP刻蚀；4)超声波去除硅基片上的光刻胶；5)快速退火；6)涂光刻胶；7)用第二版光刻板进行前曝；8)将曝光后的硅基片热板烘烤；9)再进行泛曝、显影后形成截面为倒梯形的隔离柱结构，至此，OLED金属阳极及阴极隔离柱的制备完成。该制备方法能够得到牢固而且图案精确的金属阳极电极图案，且得到最佳的欧姆接触、微细的金属图案。

主权项

一种硅基有机发光微显示器件隔离柱的制备方法，其特征在于：所述的该隔离柱的制备步骤如下：1)选用普通干净硅基片做衬底，在衬底上用磁控溅射的方法溅射一层金属膜；2)在镀有金属膜的硅基片上涂光学光刻胶，用第一版光刻板曝光、显影；3)对刻有图形的硅基片进行ICP刻蚀；4)把刻蚀后的硅基片置于丙酮器皿中，并外加超声波去除硅基片上的光刻胶，得到金属阳极图形，再用酒精和去离子水清洗干净；5)对镀有金属阳极图形的硅基片进行快速退火；6)在金属阳极图形上方涂光刻胶；7)用第二版光刻板进行前曝；8)将曝光后的硅基片置于140～150℃热板烘烤；9)将烘烤后的硅基片再进行泛曝，然后显影，显影后形成截面为倒梯形的隔离柱结构，至此，硅基有机发光微显示器件金属阳极及阴极隔离柱的制备完成。