采用导热垫圈的电极组件和等离子处理室

摘要

本发明大体涉及等离子处理，更具体地，涉及等离子处理室和其中的电极组件。按照本发明一个实施方式，提供一种电极组件，包括热控板、硅基喷头电极和导热垫圈，其中该热控板的前侧和该喷头电极的背侧各自的轮廓配合以形成脱节的热界面，其包括邻近该喷头电极的喷头通道的部分和远离该喷头通道的部分。该远离部分相对该邻近部分凹下和通过该热界面的该邻近部分与该喷头通道隔开。该垫圈是沿该远离部分设置从而该垫圈与该喷头通道隔开并可促进跨过该热界面、从该喷头电极到该热控板的热传递。

主权项

电极组件，包括热控板、硅基喷头电极和导热垫圈，其中：该热控板包括前侧、背侧和多个工艺气体通道；该喷头电极包括前侧、背侧和多个喷头通道；该热控板和该喷头电极啮合从而该热控板的前侧面向该喷头电极的背侧；该热控板的多个工艺气体通道和该喷头电极的多个喷头通道结合以允许工艺气体通过该电极组件；该热控板的前侧和该喷头电极的背侧各自的轮廓配合以形成脱节的热界面，该热界面包括邻近该喷头通道的部分和远离该喷头通道的部分；该脱节的热界面的远离部分相对该脱节的热界面的邻近部分凹下并通过该脱节的热界面的该邻近部分与该喷头通道分开；以及该导热垫圈沿该脱节的热界面的该远离部分设置从而该垫圈与该喷头通道隔开。