发明名称 |
降低表面复合减反膜电池的工艺 |
摘要 |
本发明涉及太阳能电池结构及制作工艺技术领域,尤其是一种降低表面复合减反膜电池的工艺,其具有如下工艺步骤:a.硅片进行扩散处理;b.然后对硅片进行去PSG和刻边处理;c.再对硅片表面进行减反和/或钝化处理;d.再在减反和/或钝化处理后的硅片表面进行RIE制绒;e.最后进行丝网印刷,烧结制成成品。本发明通过对传统电池工艺流程步骤改变,改变了传统电池的结构,不直接在硅片表面进行制绒而是在ARC(表面减反射膜)层上进行制绒,这样制绒后可达到同样的表面限光效果,同时也不会在硅片表面造成刻蚀损伤,达到了提升电池效率的目标。 |
申请公布号 |
CN101976703A |
申请公布日期 |
2011.02.16 |
申请号 |
CN201010238256.8 |
申请日期 |
2010.07.28 |
申请人 |
常州天合光能有限公司 |
发明人 |
陈亮;吴国强 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
常州市维益专利事务所 32211 |
代理人 |
王凌霄 |
主权项 |
一种降低表面复合减反膜电池的工艺,其特征是:具有如下工艺步骤:a.硅片进行扩散处理;b.然后对硅片进行去PSG和刻边处理;c.再对硅片表面进行减反和/或钝化处理;d.再在减反和/或钝化处理后的硅片表面进行RIE制绒;e.最后进行丝网印刷,烧结制成成品。 |
地址 |
213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |