对气体流动控制器进行现场测试的方法和设备

摘要

本发明的方法和装置使用气体流动控制器(GFC)上游的压降率，来准确地测量通过GFC的流率。在不需要任何特定或复杂的压力调节器或其它特定部件的前提下，使得能够测量通过目前生产使用中的许多气体流动控制器的气体流量。各种措施确保在测量期间或测量之后发生的压力变化不会在测试中干扰通过GFC的气体恒定流量。

主权项

一种用于确定通过气体流动控制器进入到处理腔中的气体流率的方法，所述方法包括：产生以恒定速率通过气体流动控制器的气体流动；通过中断气体流动控制器上游的已知容积上游的气体流动，将气体流动控制器上游的已知容积进行固定；在处理腔中执行处理操作，且在所述处理操作期间：在第一时间测量容积中的第一压力；在第一时间之后的第二时间测量容积中的第二压力；从第一压力和第二压力来确定压降率；基于压降率和已知容积来确定固定的流率；以及以如下方式重建进入容积中的气体流动，即通过气体流动控制器的流动不被干扰超过一定水平值。