| 发明名称 |
PLASMA REACTOR ELECTROSTATIC CHUCK HAVING A COAXIAL RF FEED AND MULTIZONE AC HEATER POWER TRANSMISSION THROUGH THE COAXIAL FEED |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20110015607(A) |
申请公布日期 |
2011.02.16 |
| 申请号 |
KR20107027448 |
申请日期 |
2009.05.04 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
WILLWERTH MICHAEL D.;PALAGASHVILI DAVID;HATCHER BRIAN K.;PATERSON ALEXANDER M.;BUCHBERGER JR. DOUGLAS A. |
| 分类号 |
H01L21/687;H01L21/3065;H01L21/683;H05H1/34 |
主分类号 |
H01L21/687 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
