核/壳型复合纳米磨料铜化学机械抛光液

摘要

本发明公开提供一种可降低抛光表面粗糙度、减少表面缺陷的核/壳型复合纳米磨料铜化学机械抛光液，所用原料及质量百分比为：核/壳型复合纳米磨料1%~10%，络合剂0.5%~2%，成膜剂0.01%~2%，分散剂0.5%~3%，氧化剂0.5%~10%，纯水余量，所述核/壳型复合纳米磨料是粒径为200~2000nm的无机-有机核/壳型复合纳米颗粒，内核为SiO2、Al2O3或金刚石中的一种，外壳为丙烯酸酯高分子链聚合物。

主权项

一种核/壳型复合纳米磨料铜化学机械抛光液，其特征在于所用原料及质量百分比为：       核/壳型复合纳米磨料　 1%~10%络合剂           　       0.5%~2%成膜剂　　　　　　　0.01%~2%分散剂　　　　　　　 0.5%~3%氧化剂　　　　　　　0.5%~10%纯水　　　　   　　　 　 余量所述核/壳型复合纳米磨料是粒径为200~2000nm的无机‑有机核/壳型复合纳米颗粒，内核为SiO2、Al2O3或金刚石中的一种，外壳为丙烯酸酯高分子链聚合物。