SILICON ETCHANT AND ETCHING METHOD,申请号KR20107025183-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SILICON ETCHANT AND ETCHING METHOD
摘要
申请公布号	KR20110015545(A)	申请公布日期	2011.02.16
申请号	KR20107025183	申请日期	2009.04.24
申请人	MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.	发明人	YAGUCHI KAZUYOSHI;SOTOAKA RYUJI
分类号	H01L21/3063	主分类号	H01L21/3063
代理机构		代理人
主权项
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