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发明名称
Method for making a structure comprising at least one thin layer in an amorphous material obtained by epitaxy on a supporting substrate and structure obtained according to said method
摘要
申请公布号
KR101015159(B1)
申请公布日期
2011.02.16
申请号
KR20087021287
申请日期
2007.03.13
申请人
发明人
分类号
H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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