形成太阳能电池吸收体的前体膜的卷进卷出反应

摘要

一种卷进卷出快速热处理(RTP)工具，其用来使位于柔性箔基底上的前体层进行反应以形成太阳能电池吸收体。RTP工具包括具有相当低的高宽比的处理间隙，柔性箔基底穿过该处理间隙移动。RTP工具的低温区形成处理间隙的第一部分，RTP工具的高温区形成处理间隙的第二部分，一缓冲区形成处理间隙的第三部分，其将处理间隙的第一部分连接于第二部分。当连续工件的一部分穿过该缓冲区行进时，柔性箔基底的该部分的温度从低温区的温度增加到高温区的温度。缓冲区包括至少一个具有空腔的低导热区段。

主权项

一种用于使位于连续工件上的前体材料反应的设备，所述连续工件连续进给所述前体材料的部分穿过该设备，以形成太阳能电池吸收体，该设备包括：快速热处理工具，其包括连续、无泄漏的处理间隙，连续工件穿过该处理间隙行进，该处理间隙包括：顶壁和底壁，所述顶壁和底壁布置成存在1/50到1/1000的高宽比，其中顶壁和底壁由其间的第一缓冲区分隔成两个不同的温度区，其中第一缓冲区包括位于顶壁和底壁中的至少一个之内的多个空腔，所述多个空腔提供了低导热区域，这些低导热区域一起显著地防止热能传递给相邻的两个不同温度区，同时仍然保持包括缓冲区的处理间隙无泄漏。