叠层阵列液体制冷半导体激光器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种新型低成本叠层阵列液体制冷半导体激光器及其制备方法，该种激光器包括自下而上依次设置的下底板、正极块、带芯片微制冷模块、负极块、上压块和液体制冷块，带芯片微制冷模块有两个或两个以上，带芯片微制冷模块叠层组成多巴条串联模块组，所述下底板两侧设有侧板；正极块、多巴条串联模块组和负极块依次叠层安装后设于下底板上的两侧板之间，上压块设于负极块的上侧并与下底板的两侧板上端固定连接，上压块上侧面固定连接有液体制冷块。本发明不仅制造简单，生产成本低，而且本发明用散热翅片的形式代替传统微通道结构形式后，有效减小了冷却液流阻，使得冷却液压降明显降低，冷却液更容易密封，散热能力更强，有效延长了半导体激光器的寿命，提高可靠性。

主权项

一种叠层阵列式液体制冷半导体激光器，包括自下而上依次叠置的下底板(16)、正极块(20)、多巴条串联模块组(31)、负极块(23)、上压块(25)和液体制冷块(28)，其特征在于，所述多巴条串联模块组(31)由多个带芯片微制冷模块(33)依次垂直叠层组成，所述多巴条串联模块组(31)内设有入液通道(35)和出液通道(36)，所述正极块(20)上设有正极块入液孔(17)和正极块出液孔(19)，所述负极块(23)对应设有负极块入液孔和负极块出液孔，所述上压块(25)上设有入液通孔(30)和出液通孔(26)，所述液体制冷块(28)上设有液体制冷块入液孔(14)和液体制冷块出液孔(15)，所述正极块入液孔(17)、入液通道(35)、负极块入液孔、入液通孔(30)和液体制冷块入液孔(14)依次连通；所述正极块出液孔(19)、出液通道(36)、负极块出液孔、出液通孔(26)和液体制冷块出液孔(15)依次连通；所述正极块入液孔(17)和正极块出液孔(19)的下端口分别与设于下底板(16)上的入液口和出液口相连通，所述下底板(16)两侧设有侧板(34)；所述正极块(20)、多巴条串联模块组(31)和负极块(23)依次叠层安装后设于下底板(16)上的两侧板(34)之间，所述上压块(25)设于负极块(23)的上侧并与下底板(16)的两侧板(34)上端固定连接，所述上压块(25)上侧面固定连接有液体制冷块(28)；所述带芯片微制冷模块(33)包括铜连接片(4)和液体制冷片(3)，液体制冷片(3)为矩形片状，液体制冷片(3)的中部垂直开设有连接通孔(7)，连接通孔(7)的两侧分别设有入液孔(5)和出液孔(9)，所述入液孔(5)内设有散热翅片(6)，所述液体制冷片(3)在靠近入液孔(5)的一端设有芯片安装区(37)，所述液体制冷片(3)的芯片安装区(37)设有热沉(2)和芯片(1)，热沉(2)与芯片(1)的正极面贴合，所述芯片(1)的负极面与铜连接片(4)贴合，所述铜连接片(4)与液体制冷片(3)之间还设有绝缘片(10)；所述下底板(16)的两侧板(34)远离发光面一侧固定连接有H型后板(22)；所述下底板(16)、正极块(20)、多巴条串联模块组(31)、负极块(23)和上压块(25)经贯通螺钉(27)以叠层阵列形式连接在一起。