一种新型离子回旋共振天线

摘要

一种新型离子回旋共振天线，涉及天线装置，主体由真空室构成，在真空室的腔体内充满高温等离子体，所述的真空室通过真空室颈管支撑连接，所述真空室和真空室腔体内的高温等离子体之间设置电极，电极和真空室连接，在所述电极和真空室连接点处穿过真空室壁后，电极一直向下延伸到真空室颈管的底端，在和真空室底端处通过馈口封闭。有益效果是通过离子回旋共振天线，可以实现入射波的馈入和传输、与等离子体内部磁场相耦合，产生频率共振，进而实现对等离子体的加热及电流驱动，完成清洗过程，提高了装置内部真空度。

主权项

一种新型离子回旋共振天线，主体由真空室构成，在真空室的腔体内充满高温等离子体，所述的真空室通过真空室颈管支撑连接，其特征在于：所述真空室和真空室腔体内的高温等离子体之间设置电极，电极和真空室连接，在所述电极和真空室连接点处穿过真空室壁后，电极一直向下延伸到真空室颈管的底端，再和真空室底端处通过馈口封闭。