一种平面气体传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种平面气体传感器，包括壳体和位于壳体内的气敏元件，气敏元件包括：基片以及依次设置在其正面的加热电阻层和气敏层，加热电阻层和气敏层通过绝缘介质层隔离。本发明还公开了一种平面气体传感器的制作方法，包括步骤：丝网印刷加热用平行带状金电极；丝网印刷加热电阻层；在加热电阻层上套印加热电极；在加热电阻层上丝网印刷绝缘介质层；在绝缘介质层上丝网印刷气敏层检测电极；在绝缘介质层上丝网印刷气敏层，形成气敏元件；将气敏元件焊接到管座上。本发明提供的平面气体传感器将气敏元件加热电阻层和气敏层置于基片的同一侧，因此无需制作通孔将电极引到同一侧，所以气敏元件的制作工艺难度将大大降低。

主权项

一种平面气体传感器，包括壳体和位于所述壳体内的平面结构的气敏元件，其特征在于，所述气敏元件具体包括：基片(1)以及依次设置在所述基片(1)正面的加热电阻层(2)和气敏层(4)，所述加热电阻层(2)和气敏层(4)通过绝缘介质层(3)隔离。