| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5732758(A) |
申请公布日期 |
1982.02.22 |
| 申请号 |
JP19800108550 |
申请日期 |
1980.08.04 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
WAKAMIYA WATARU;NAGATOMO MASAO;KOMORI NOBUFUMI;NISHIOKA KIYUUSAKU;UOTANI SHIGEO;HARADA HIROJI |
| 分类号 |
B05C11/08;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
B05C11/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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