发明名称 |
压电/电致伸缩元件及其制造方法 |
摘要 |
一种压电/电致伸缩元件,其具备具有压电/电致伸缩体的压电/电致伸缩驱动部、以及配设于压电/电致伸缩体的至少一个表面上的并且实质上不含玻璃成分的膜状的外部端子电极;外部端子电极为层叠结构的电极,该层叠结构具备有与压电/电致伸缩体接触而配设并且由含有第一金属成分和压电/电致伸缩材料的第一电极材料形成的第一电极层、以及由含有第二金属成分且实质上不含压电/电致伸缩材料的第二电极材料形成的第二电极层;第一金属成分和第二金属成分为构成元素相同的金属成分。 |
申请公布号 |
CN101978518A |
申请公布日期 |
2011.02.16 |
申请号 |
CN200980109433.8 |
申请日期 |
2009.03.11 |
申请人 |
日本碍子株式会社 |
发明人 |
植谷政之;伊藤阳彦 |
分类号 |
H01L41/083(2006.01)I;C04B35/49(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I;H01L41/22(2006.01)I;H01L41/24(2006.01)I |
主分类号 |
H01L41/083(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
钟晶 |
主权项 |
一种压电/电致伸缩元件,其具备:具有由压电/电致伸缩材料形成的压电/电致伸缩体的压电/电致伸缩驱动部,以及配设于所述压电/电致伸缩体的至少一个表面上并且实质上不含玻璃成分的膜状的外部端子电极;所述外部端子电极为具有层叠结构的电极,所述层叠结构具有与所述压电/电致伸缩体接触而配设并且由含有第一金属成分和所述压电/电致伸缩材料的第一电极材料形成的第一电极层、以及配设于所述第一电极层上并且由含有第二金属成分且实质上不含所述压电/电致伸缩材料的第二电极材料形成的第二电极层,所述第一金属成分和所述第二金属成分为构成元素相同的金属成分。 |
地址 |
日本爱知县 |