| 发明名称 | 慢提拉机构 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种可以缩短烘干时间的慢提拉机构，包括：机架，设置在机架上的一对相互平行的导向杆，滑动设置在导向杆上的导向座，连接一对导向座的连接座，连接座上设置有提拉搁架，所述的机架上还设置有丝杆以及丝杆驱动装置，所述的连接座上设置有与丝杆相配合的丝杆座，丝杆穿设在丝杆座中。本发明通过丝杆的转动，使提拉搁架带着装有硅片的工装篮缓慢上升，运用水的张力，把硅片表面的绝大部分水液处理掉，大大减小了硅片表面的带液量，大大缩短了硅片在烘道中的烘干时间，减小了能源消耗，提高了烘干效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101972751A | 申请公布日期 | 2011.02.16 |
| 申请号 | CN201010214307.3 | 申请日期 | 2010.06.30 |
| 申请人 | 张家港市超声电气有限公司 | 发明人 | 陈宏 |
| 分类号 | B08B3/04(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 张家港市高松专利事务所 32209 | 代理人 | 孙高 |
| 主权项 | 慢提拉机构，包括：机架，设置在机架上的一对相互平行的导向杆，滑动设置在导向杆上的导向座，连接一对导向座的连接座，连接座上设置有提拉搁架，其特征在于：所述的机架上还设置有丝杆以及丝杆驱动装置，所述的连接座上设置有与丝杆相配合的的丝杆座，丝杆穿设在丝杆座中。 | ||
| 地址 | 215618 江苏省张家港市杨舍镇塘市南庄村 | ||