| 发明名称 | 一种抛光垫修整头 | ||
| 摘要 | 本发明涉及化学机械抛光设备技术领域，特别涉及一种抛光垫修整头。主轴通过两组轴承轴向定位，避免主轴的轴向串动，轴承通过轴承端盖和套筒安装固定在轴承座内；轴承座及轴承端盖设有连通的气孔，并在轴承端盖的气孔上安装快换接头；主轴与轴承座之间的密封，包括迷宫密封和气封；主轴的顶部通过螺钉与同步带固定连接，主轴的底端通过螺钉与法兰及压片固定连接；保护盖、压盘、自适应盘和金刚石盘四者之间通过螺钉连接成一体，将法兰及压片包覆固定；法兰与压盘之间以及法兰与保护盖之间分别通过压紧柔性环连接。本发明结构简单紧凑美观，易于加工制造及装配，运动平稳可靠，具有很高的实用性，可广泛用于抛光设备中。 | ||
| 申请公布号 | CN101972988A | 申请公布日期 | 2011.02.16 |
| 申请号 | CN201010217013.6 | 申请日期 | 2010.06.28 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 路新春;沈攀;何永勇;雒建斌 |
| 分类号 | B24B53/12(2006.01)I | 主分类号 | B24B53/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人 | 张文宝 |
| 主权项 | 一种抛光垫修整头，包括主轴(14)、轴承座(6)、轴承端盖(13)、轴承(9)、旋转接头(11)、同步带轮(10)、金刚石盘(1)以及密封圈，其特征在于，主轴(14)通过两组轴承(9)轴向定位，避免主轴的轴向串动，轴承(9)通过轴承端盖(13)和套筒(8)安装固定在轴承座(6)内；轴承座(6)及轴承端盖(13)设有连通的气孔，并在轴承端盖(13)的气孔上安装快换接头(12)；主轴(14)与轴承座(6)之间的密封，包括迷宫密封和气封；主轴(14)的顶部通过螺钉与同步带(10)固定连接，主轴(14)的底端通过螺钉与法兰(15)及压片(17)固定连接；保护盖(5)、压盘(3)、自适应盘(19)和金刚石盘(1)四者之间通过螺钉连接成一体，将法兰(15)及压片(17)包覆固定；法兰(15)与压盘(3)之间以及法兰(15)与保护盖(5)之间分别通过压紧柔性环(18)连接。 | ||
| 地址 | 100084 北京市100084-82信箱 | ||