| 发明名称 | 具有滚轧成型表面的基座和其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明一般地提供用于在等离子体反应器中支撑大面积基板的装置。在一个实施例中，在等离子体反应器中使用的一基板支撑件包括一导电主体，该导电主体包括一顶面，其具有多个滚轧成型的压印。 | ||
| 申请公布号 | CN101978473A | 申请公布日期 | 2011.02.16 |
| 申请号 | CN200980109686.5 | 申请日期 | 2009.03.18 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | 古田学;戴维·阿奇利;崔寿永;约翰·M·怀特 |
| 分类号 | H01L21/205(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/205(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;钟强 |
| 主权项 | 一种在一等离子体反应器中使用的基板支撑件，包括：一导电主体，其被配置为该等离子体反应器的一电极，其中该导电主体具有一顶面，其被配置为支撑一大面积基板，并提供热能给该大面积基板，该顶面具有一阵列的滚轧成型压印。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||