等离子体增强化学气相沉积装置

摘要

本发明提供一种等离子体增强化学气相沉积装置，包括：腔体，包括位于其顶部的进气口；电源，位于腔体外；上电极，位于腔体内进气口下方；下电极，位于腔体底部，与所述上电极相对设置；器件基板，位于所述下电极上，所述器件基板的表面用于沉积太阳能电池的硅薄膜；还包括位于下电极上的绝缘框，所述绝缘框设置于所述器件基板的外围，用以防止电场在所述器件基板边缘的跳变。本发明通过在器件基板上的外围区域形成有绝缘框，所述绝缘框的介电系数接近或等于器件基板的介电系数，提高器件基板外围电场分布的均匀性，进一步提高位于所述器件基板外围的等离子体分布密度的均匀性，进而提高所述器件基板上沉积的薄膜厚度的均匀性。

主权项

一种等离子体增强化学气相沉积装置，包括：腔体，包括位于其顶部的进气口；电源，位于腔体外，用于产生激发等离子体射频信号；上电极，位于腔体内进气口下方；下电极，位于腔体底部，与所述上电极相对设置；器件基板，位于所述下电极上，所述器件基板的表面用于沉积太阳能电池的硅薄膜；其特征在于，还包括位于所述下电极上的绝缘框，所述绝缘框设置于所述器件基板的外围，用以防止电场在所述器件基板边缘的跳变。