发明名称 |
光检测器 |
摘要 |
在具有测辐射热计元件(11)以及基准元件(21)的红外线检测器(1)中,包含:测辐射热计薄膜(22),与基板(10)的表面分离且被支撑于基板(10)的表面上;散热用金属膜(23),经由绝缘膜(31)而被形成在测辐射热计薄膜(22)的基板(10)侧的表面上;以及多个金属柱(25),与散热用金属膜(23)以及基板(10)热性连接,从而可以经由绝缘膜(31)、散热用金属膜(23)、金属柱(25)、基板侧散热用金属膜(24)有效地使由红外线所产生的受光部(22a)的热向基板(10)散热,因而可以正确地仅测定因使用环境的变化而产生的温度变化,有效地降低使用环境的温度变化的影响,并达成小型化。 |
申请公布号 |
CN101978246A |
申请公布日期 |
2011.02.16 |
申请号 |
CN200980109704.X |
申请日期 |
2009.03.16 |
申请人 |
浜松光子学株式会社 |
发明人 |
铃木顺;尾岛史一;北浦隆介 |
分类号 |
G01J1/02(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I;H01L27/14(2006.01)I;H01L37/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01J1/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳 |
主权项 |
一种光检测器,其特征在于,包含:第1测辐射热计膜,与基板的表面分离且被支撑于所述基板的表面上;第2测辐射热计膜,与所述基板的表面分离且被支撑于所述基板的表面上;第1金属膜,经由绝缘膜而被形成在所述第2测辐射热计膜的所述基板侧的表面上;以及多个金属柱,与所述第1金属膜以及所述基板热性连接。 |
地址 |
日本静冈县 |