输出电压可调的射频电源

摘要

本实用新型公开了一种输出电压可调的射频电源，要解决的技术问题是提高射频电源的整体效率。本实用新型由直流变换器、E类开关放大器和匹配网络顺序连接，射频电压检测器从匹配网络提取输出的电压幅值信号给比例积分微分脉冲宽度调制控制器，比例积分微分脉冲宽度调制控制器输出脉冲宽度调制信号驱动直流变换器。本实用新型与现有技术相比，采用Class-E开关放大器作为核心电路，利用串联谐振电路对其源漏极电压滤波，形成射频正弦波输出，理论效率高达100％、整机效率可达85％以上，利用直流变换器对输入Class-E开关放大器的直流电压进行调节，在起到电气隔离功能的同时实现了射频电源输出电压幅值灵活可调。

主权项

一种输出电压可调的射频电源，其特征在于：所述输出电压可调的射频电源直流变换器由直流变换器(DC/DC)、E类(Class E)开关放大器和匹配网络顺序连接，射频电压检测器从匹配网络提取输出的电压幅值信号给比例积分微分脉冲宽度调制控制器(PID PWM)，比例积分微分脉冲宽度调制控制器(PID PWM)输出脉冲宽度调制信号驱动直流变换器(DC/DC)。