| 发明名称 | 一种硅片冲洗装置的连接机构 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种硅片冲洗装置的连接机构，包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠，由于本发明包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠；盒体与封闭空腔连接时，盒体的外周面与封闭空腔通孔的内周面之间的配合为滚动摩擦，摩擦力小，可避免封闭空腔由于长时间摩擦而损坏，从而，延长了冲洗装置的使用时间。 | ||
| 申请公布号 | CN101972757A | 申请公布日期 | 2011.02.16 |
| 申请号 | CN201010521933.7 | 申请日期 | 2010.10.27 |
| 申请人 | 镇江市港南电子有限公司 | 发明人 | 聂金根 |
| 分类号 | B08B5/02(2006.01)I | 主分类号 | B08B5/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人 | 季萍 |
| 主权项 | 一种硅片冲洗装置的连接机构，其特征在于，包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠。 | ||
| 地址 | 212132 江苏省镇江市新区大港机电工业园东方路 | ||