大直径水晶圆片倒角工装及其倒角方法

摘要

本发明提供一种大直径水晶圆片倒角工装及其倒角方法，该倒角工装包括四轴研磨机、碗型倒角工装和水晶圆片真空粘钩，所述碗型倒角工装包括具有球形凹面的碗体和设置在碗体下部的连接体，所述碗体的球形凹面上设置有一层研磨砂，所述碗型倒角工装的连接体安装于所述四轴研磨机的传动轴上，所述水晶圆片真空粘钩中心对应所述球形凹面的中心设置。该倒角方法包括：启动四轴研磨机并调整转速；采用水晶圆片真空粘钩吸附住水晶圆片；将水晶圆片与球形凹面接触，通过旋转的球形凹面对水晶圆片的边缘进行倒角。该倒角工装具有工作效率高、易于操作、制造成本低廉的优点；该倒角方法具有工艺简单、研磨效果理想、倒角质量可靠、无崩边的优点。

主权项

一种大直径水晶圆片倒角工装，其特征在于：该大直径水晶圆片倒角工装包括四轴研磨机、碗型倒角工装和水晶圆片真空粘钩，所述碗型倒角工装包括具有球形凹面的碗体和设置在碗体下部的连接体，所述碗体的球形凹面上设置有一层研磨砂，所述碗型倒角工装的连接体安装于所述四轴研磨机的传动轴上，所述水晶圆片真空粘钩中心对应所述球形凹面的中心设置。