| 发明名称 | 抛光机的下抛光盘 | ||
| 摘要 | 本发明涉及硅片研磨机或抛光机的结构，尤其涉及硅片研磨机或抛光机下抛光盘的结构。一种抛光机的下抛光盘，包括有下盘工作盘(7)，其主要特点在于还包括有在下盘工作盘(7)的下方设有下盘基盘(9)，下盘基盘(9)与下盘工作盘(7)之间形成冷却腔(3)，在下盘基盘(9)上设有进水口(8)和出水口(5)，分别与冷却腔(3)连通。本发明的优点是特殊的水冷盘结构避免了冷却水走捷径，只有在冷却水充满腔体后才能从出水口流出，确保了冷却水能对抛盘进行充分冷却，及时带走因加工而产生的热量，对抛盘起到了强制冷却的作用，较传统的被动式冷却更可靠。结合精密的测温系统及冷却水流量调节系统，实现了抛盘温度的精密控制。 | ||
| 申请公布号 | CN101972998A | 申请公布日期 | 2011.02.16 |
| 申请号 | CN201010270760.6 | 申请日期 | 2010.08.30 |
| 申请人 | 兰州瑞德实业集团有限公司 | 发明人 | 金万斌;李方俊;梁春 |
| 分类号 | B24D13/14(2006.01)I;B24D13/18(2006.01)I | 主分类号 | B24D13/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 兰州振华专利代理有限责任公司 62102 | 代理人 | 张真 |
| 主权项 | 一种抛光机的下抛光盘，包括有下盘工作盘(7)，其特征在于，还包括有在下盘工作盘(7)的下方设有下盘基盘(9)，下盘基盘(9)与下盘工作盘(7)之间设有冷却腔(3)，在下盘基盘(9)上设有进水口(8)和出水口(5)，所述的进水口(8)和出水口(5)分别与冷却腔(3)连通。 | ||
| 地址 | 730000 甘肃省兰州市城关区东岗西路705号 | ||