发明名称 Plasma treatment apparatus and method for plasma-assisted treatment of substrates
摘要
申请公布号 EP2283510(A1) 申请公布日期 2011.02.16
申请号 EP20090738237 申请日期 2009.04.30
申请人 OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH 发明人 KROLL, ULRICH;LEGRADIC, BORIS
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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