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发明名称 Methods and apparatus for reducing buildup of deposits in semiconductor processing equipment
摘要
申请公布号 GB2431703(B) 申请公布日期 2011.02.16
申请号 GB20060021327 申请日期 2006.10.26
申请人 CREE, INC 发明人 EUGENE J MAYER
分类号 B08B9/02;C23C16/00;C23C16/44 主分类号 B08B9/02
代理机构 代理人
主权项
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