发明名称 ANTIREFLEXIONSBESCHICHTUNGSZUSAMMENSETZUNG UND VERFAHREN ZUM BELICHTEN EINES PHOTORESISTS UNTER IHRE ANWENDUNG
摘要
申请公布号 AT497608(T) 申请公布日期 2011.02.15
申请号 AT20070825410T 申请日期 2007.10.15
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 KIM, WOOKYU;WU, HENGPENG;ABDALLAH, DAVID J.;NEISSER, MARK;LU, PINGHUNG;ZHANG, RUZHI;RAHMAN, M.
分类号 G03F7/09 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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