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发明名称
摘要
申请公布号 JPS59195737(U) 申请公布日期 1984.12.26
申请号 JP19830072579U 申请日期 1983.05.16
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L23/29;H01L23/31;(IPC1-7):H01L21/66;H01L23/30 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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