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发明名称 FLÜSSIGKEITSDRUCKSENSOR MIT EIN SYSTEM ZUM FERNHALTEN VON VERUNREINIGUNGEN
摘要
申请公布号 AT498120(T) 申请公布日期 2011.02.15
申请号 AT19970951558T 申请日期 1997.12.05
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 GRUDZIEN, CHRISTOPHER
分类号 G01L9/12;G01L19/00;G01L19/06 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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