发明名称 HIGH POWER PLASMA GENERATION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101013357(B1) 申请公布日期 2011.02.14
申请号 KR20080071607 申请日期 2008.07.23
申请人 发明人
分类号 H05H1/24;H05H1/30;H05H1/34 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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