发明名称 PROBE CARD AND MICROSTRUCTURE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101013594(B1) 申请公布日期 2011.02.14
申请号 KR20087020894 申请日期 2007.09.28
申请人 发明人
分类号 G01R1/073;B81C99/00;G01R1/067 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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