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发明名称
SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
KR101014036(B1)
申请公布日期
2011.02.14
申请号
KR20030084358
申请日期
2003.11.26
申请人
发明人
分类号
H01L27/10;H01L27/115;H01L21/00;H01L21/4763;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/105;H01L29/788;H01L29/792
主分类号
H01L27/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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