发明名称 Akustisches Rastermikroskop und Autofokus-Verfahren
摘要
申请公布号 DE102006005448(B4) 申请公布日期 2011.02.10
申请号 DE200610005448 申请日期 2006.02.07
申请人 PVA TEPLA ANALYTICAL SYSTEMS GMBH 发明人 CZURRATIS, PETER;KRAEMER, KLAUS
分类号 G03B42/06;G01N29/06 主分类号 G03B42/06
代理机构 代理人
主权项
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