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发明名称 VERFAHREN ZUR ANISOTROPEN CHEMISCHEN ÄTZUNG
摘要
申请公布号 DE69943086(D1) 申请公布日期 2011.02.10
申请号 DE19996043086 申请日期 1999.06.22
申请人 MITSUBISHI MATERIALS SILICON CORP. 发明人 OI, HIROYUKI
分类号 H01L21/306;H01L21/00;H01L21/02 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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