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发明名称 VERFAHREN ZUR WÄRMEBEHANDLUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE69943072(D1) 申请公布日期 2011.02.10
申请号 DE19996043072 申请日期 1999.04.06
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 MALEVILLE, CHRISTOPHE;BARGE, THIERRY;ASPAR, BERNARD;MORICEAU, HUBERT;AUBERTON-HERVE, ANDRE-JACQUES
分类号 H01L21/324;H01L21/762;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/322;H01L27/12 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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